Showing results 1 to 2 of 2
Charge-related deposition phenomena in silicon CVD = 실리콘 CVD에서 charge에 관련된 증착 현상link Cheong, Woo-Seock; 정우석; et al, 한국과학기술원, 1998 |
DMEAA source를 이용한 Al-MOCVD mechanism 및 특성에 관한 연구 = A study on the Al-MOCVD mechanism and characteristics using DMEAA sourcelink 장태웅; Jang, Tae-Woong; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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