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전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 식각장치내에서 $SF_6$ 방전시 생성된 F 활성원자의 분포특성 연구 = Study on the characteristics of F radical atoms created from the $SF_6$ discharge in ECR plasma etcherlink 김용진; Kim, Yong-Jin; et al, 한국과학기술원, 1995 |
특성 선 스펙트럼 세기비교를 이용한 플라즈마내 전자온도 측정 = Electron temperature determination by line spectrum intensity ratiolink 이효석; Yi, Hyo-Seok; et al, 한국과학기술원, 1999 |
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