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Mobility of photogenerated acid in resists and molecular resists = 레지스트에서의 산의 거동 및 분자 레지스트에 관한 연구link Kwon, Young-Gil; 권영길; et al, 한국과학기술원, 2001 |
Polymeric and molecular resists for short wavelength lithography = 단파장 리소그라피용 고분자 및 분자 레지스트link Yun, Hyo-Jin; 윤효진; et al, 한국과학기술원, 2002 |
Study on low-outgassing resists = 저가스 발생형 레지스트에 대한 연구link Shin, Han-Gyeol; 신한결; et al, 한국과학기술원, 2014 |
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