초정밀 회전 오차 보상형 공기 베어링 스테이지의 설계 및 오차 보정에 관한 연구 = Design and error calibration of precision air bearing stage with yaw error compensation

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Advisors
권대갑researcherGweon, Dae-Gabresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2011
Identifier
466320/325007  / 020075251
Language
kor
Description

학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2011.2, [ viii, 82 p. ]

Keywords

동적 해석; 위치 오차 보정; 유연 기구; 스테이지; 높은 구조 강성; High structure stiffness; Dynamics analysis; Position error calibration; Flexure joint; H type stage

URI
http://hdl.handle.net/10203/42621
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=466320&flag=dissertation
Appears in Collection
ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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