초정밀 회전 오차 보상형 공기 베어링 스테이지의 설계 및 오차 보정에 관한 연구Design and error calibration of precision air bearing stage with yaw error compensation
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 권대갑 | - |
| dc.contributor.advisor | Gweon, Dae-Gab | - |
| dc.contributor.author | 김경천 | - |
| dc.contributor.author | Kim, Kyoung-Chon | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T05:11:37Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T05:11:37Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=466320&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/42621 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2011.2, [ viii, 82 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 동적 해석 | - |
| dc.subject | 위치 오차 보정 | - |
| dc.subject | 유연 기구 | - |
| dc.subject | 스테이지 | - |
| dc.subject | 높은 구조 강성 | - |
| dc.subject | High structure stiffness | - |
| dc.subject | Dynamics analysis | - |
| dc.subject | Position error calibration | - |
| dc.subject | Flexure joint | - |
| dc.subject | H type stage | - |
| dc.title | 초정밀 회전 오차 보상형 공기 베어링 스테이지의 설계 및 오차 보정에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Design and error calibration of precision air bearing stage with yaw error compensation | - |
| dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
| dc.identifier.CNRN | 466320/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 기계공학전공, | - |
| dc.identifier.uid | 020075251 | - |
| dc.contributor.localauthor | 권대갑 | - |
| dc.contributor.localauthor | Gweon, Dae-Gab | - |
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- ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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