P(VDF-TrFE-CFE)를 이용한 초소형 압전 적층형 진동 출력 소자의 제작 Fabrication of Ultra-Small Multi-Layer Piezoelectric Vibrational Device Using P(VDF-TrFE-CFE)

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P(VDF-TrFE-CFE)(Poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorofluoroethylene))는 7%의 높은 전기변형(electrostriction)을 지닌 소재로, 진동이나 변위로서 촉감을 전달하거나 출력해주는 웨어러블 압전 액추에이터를 위한 응용에 매우 적합하다. 본 연구에서는 고변위 특성을 지니는 P(VDF-TrFE-CFE)를 이용하여 압전 액추에이터로의 응용 가능성을 연구하였다. 낮은 구동 전압에서 액추에이터 소자의 출력과 변위를 높이고자, 적층 형태의 구조를 디자인하고 제작하였다. P(VDF-TrFE-CFE)를 스핀 코팅하고 Ag 전극을 적층하여 2층의 3.5 mm x 3.5 mm의 소자를 제작하였다. 또한, 진동 변위의 특성을 측정하기 위하여 레이저 바이브로미터와 압전 감응 힘 현미경으로 200~4200 Hz의 범위에서 진동 특성을 측정하였고 가진 주파수 40 Hz에서 on-off 특성을 확인하였다.
Publisher
한국전기전자재료학회
Issue Date
2019-03
Language
Korean
Citation

전기전자재료학회논문지, v.32, no.2, pp.157 - 160

ISSN
1226-7945
DOI
10.4313/JKEM.2019.32.2.157
URI
http://hdl.handle.net/10203/271354
Appears in Collection
MS-Journal Papers(저널논문)
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