파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치 METHOD AND APPARATUS FOR HIGH-SPEED 3D PHOTOLITHOGRAPHYING USING WAVEFRONT SHAPER

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파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치가 개시된다. 3차원 광조형 방법은, 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체(object)의 3차원 빛의 세기 분포를 제어하기 위한 2차원 파면을 계산하는 단계, 계산된 상기 2차원 파면을 파면 제어기에 투영하는 단계, 및 상기 파면 제어기를 통해 파면이 제어된 빛을 상기 3차원 형상의 물체에 위치한 감광성 수지에 노광하여 3차원 형상의 물체(object)를 조형하는 단계를 포함할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2019-07-24
Application Date
2017-10-11
Application Number
10-2017-0129744
Registration Date
2019-07-24
Registration Number
10-2005632-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/264047
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
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