파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR HIGH-SPEED 3D PHOTOLITHOGRAPHYING USING WAVEFRONT SHAPER
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박용근 | ko |
| dc.contributor.author | 김규현 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-08-06T02:20:42Z | - |
| dc.date.available | 2019-08-06T02:20:42Z | - |
| dc.date.issued | 2019-07-24 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/264047 | - |
| dc.description.abstract | 파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치가 개시된다. 3차원 광조형 방법은, 조형하고자 하는 3차원 형상의 물체(object)의 3차원 빛의 세기 분포를 제어하기 위한 2차원 파면을 계산하는 단계, 계산된 상기 2차원 파면을 파면 제어기에 투영하는 단계, 및 상기 파면 제어기를 통해 파면이 제어된 빛을 상기 3차원 형상의 물체에 위치한 감광성 수지에 노광하여 3차원 형상의 물체(object)를 조형하는 단계를 포함할 수 있다. | - |
| dc.title | 파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치 | - |
| dc.title.alternative | METHOD AND APPARATUS FOR HIGH-SPEED 3D PHOTOLITHOGRAPHYING USING WAVEFRONT SHAPER | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 박용근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김규현 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0129744 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2005632-0000 | - |
| dc.date.application | 2017-10-11 | - |
| dc.date.registration | 2019-07-24 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.