극소형 금형 및 마스크 제작방법 ULTRA-MICRO MOLD AND MASK MANUFACTURING METHOD

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본 발명은 레이저장치에 반응하는 광경화성 수지를 이용하여 미세기계의 가공에 사용되는 극소형 금형을 제작하는 방법으로서, 유리기판 상에 광경화성 수지를 소정두께로 배치하는 단계; 광경화성 수지를 레이저로 경화시켜 상기 유리기판 상에 수지패턴을 제작하는 가공단계; 상기 광경화성 수지에서 수지패턴을 제외한 경화되지 않은 부분을 제거하는 단계; 상기 수지패턴을 마스크로 하여 유리기판의 표면을 식각하여 기판의 표면 상에 상기 수지패턴의 형상에 대응하는 패턴을 만드는 에칭단계; 패턴이 형성된 유리기판으로부터 수지패턴을 분리시키는 애싱(ashing)단계; 및 유리기판의 강도를 높이기 위해서 패턴이 형성된 반대쪽 표면에 수정층을 형성시키는 본딩단계를 포함한다. 또한, 본 발명은 레이저에 반응하는 광경화성 수지를 이용하여 극소형 마스크를 제작하는 방법으로서, 유리기판 상에 광경화성 수지를 소정두께로 배치하는 단계; 광경화성 수지를 레이저로 경화시켜 수지패턴을 제작하는 가공단계; 상기 광경화성 수지에서 수지패턴을 제외한 경화되지 않은 부분을 제거하는 단계; 상기 수지패턴에 금속재료로 이루어진 층을 도포하는 증착단계; 금속이 증착된 수지패턴을 평평하게 가공하는 연마단계; 및 유리기판에서 수지패턴을 제거하는 단계를 포함한다. 이 극소형 금형 및 마스크 제작방법은 높은 정밀도를 가진 금형과 마스크를 저가로 제작할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2006-03-06
Application Date
2003-10-01
Application Number
10-2003-0068434
Registration Date
2006-03-06
Registration Number
10-0560084-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232502
Appears in Collection
ME-Patent(특허)PH-Patent(특허)
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