극소형 금형 및 마스크 제작방법ULTRA-MICRO MOLD AND MASK MANUFACTURING METHOD
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 공홍진 | ko |
| dc.contributor.author | 양동열 | ko |
| dc.contributor.author | 박상후 | ko |
| dc.contributor.author | 임태우 | ko |
| dc.contributor.author | 류승민 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T10:27:41Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T10:27:41Z | - |
| dc.date.issued | 2006-03-06 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/232502 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 레이저장치에 반응하는 광경화성 수지를 이용하여 미세기계의 가공에 사용되는 극소형 금형을 제작하는 방법으로서, 유리기판 상에 광경화성 수지를 소정두께로 배치하는 단계; 광경화성 수지를 레이저로 경화시켜 상기 유리기판 상에 수지패턴을 제작하는 가공단계; 상기 광경화성 수지에서 수지패턴을 제외한 경화되지 않은 부분을 제거하는 단계; 상기 수지패턴을 마스크로 하여 유리기판의 표면을 식각하여 기판의 표면 상에 상기 수지패턴의 형상에 대응하는 패턴을 만드는 에칭단계; 패턴이 형성된 유리기판으로부터 수지패턴을 분리시키는 애싱(ashing)단계; 및 유리기판의 강도를 높이기 위해서 패턴이 형성된 반대쪽 표면에 수정층을 형성시키는 본딩단계를 포함한다. 또한, 본 발명은 레이저에 반응하는 광경화성 수지를 이용하여 극소형 마스크를 제작하는 방법으로서, 유리기판 상에 광경화성 수지를 소정두께로 배치하는 단계; 광경화성 수지를 레이저로 경화시켜 수지패턴을 제작하는 가공단계; 상기 광경화성 수지에서 수지패턴을 제외한 경화되지 않은 부분을 제거하는 단계; 상기 수지패턴에 금속재료로 이루어진 층을 도포하는 증착단계; 금속이 증착된 수지패턴을 평평하게 가공하는 연마단계; 및 유리기판에서 수지패턴을 제거하는 단계를 포함한다. 이 극소형 금형 및 마스크 제작방법은 높은 정밀도를 가진 금형과 마스크를 저가로 제작할 수 있다. | - |
| dc.title | 극소형 금형 및 마스크 제작방법 | - |
| dc.title.alternative | ULTRA-MICRO MOLD AND MASK MANUFACTURING METHOD | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 공홍진 | - |
| dc.contributor.localauthor | 양동열 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박상후 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 임태우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 류승민 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2003-0068434 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0560084-0000 | - |
| dc.date.application | 2003-10-01 | - |
| dc.date.registration | 2006-03-06 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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