3파장 광원을 이용한 위상물체의 굴절률과 두께 측정장치및 그 방법

Abstract

본 발명은 3파장 광원을 이용한 위상물체의 굴절률과 두께 측정장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 서로 다른 파장을 갖는 레이저광을 조사하고, 파장의 변화에 따른 위상정보로부터 위상물체의 2차원적 굴절률의 정보와 두께를 대수적인 관계를 이용하여 측정할 수 있는 3파장 광원을 이용한 위상물체의 굴절률과 두께 측정장치 및 그 방법을 제공하는데 제1목적이 있다. 또한, 본 발명은 위상물체를 회전시킴에 따라 각 파장별로 회전 각도에 따라 달라지는 위상변화를 통해 위상물체의 3차원적 굴절률과 두께를 측정할 수 있는 3파장 광원을 이용한 위상물체의 굴절률과 두께 측정장치 및 그 방법을 제공하는데 제2목적이 있다. 이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명에 따르는 3파장 광원을 이용한 위상물체의 굴절률과 두께 측정장치는, 서로 다른 파장을 갖는 3개의 레이저광을 조사하여 각 레이저광을 기준광과 측정광으로 분리시켜 주는 광원부(10); 회전각도를 조절할 수 있으며, 굴절률 정합용액이 충진되어 측정광을 투과시켜 주는 시편부(20); 기준광의 진행방향을 전환시켜 주는 기준부(30); 시편부(20) 및 기준부(30)를 각각 투과한 측정광 및 기준광으로부터 간섭신호를 검출하는 검출부(40); 및 시편부(20)의 회전각을 제어하고, 각 레이저광으로부터 얻은 3개의 간섭신호로부터 간접투영 정보를 추출하는 신호처리부(50);를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.