나노 크기의 수직 기공을 갖는 원주형 크롬 박막을 이용한 MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 진공 패키징에 관한 연구The study on wafer-level vacuum packaging for MEMS devices with nanoporous columnar Cr structure
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이병기 | - |
| dc.contributor.author | 최동훈 | - |
| dc.contributor.author | 윤준보 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-28T12:11:07Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-28T12:11:07Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2010-04-01 | - |
| dc.identifier.citation | 제12회 한국MEMS학술대회, v., no., pp.145 - 146 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/165587 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.title | 나노 크기의 수직 기공을 갖는 원주형 크롬 박막을 이용한 MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 진공 패키징에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | The study on wafer-level vacuum packaging for MEMS devices with nanoporous columnar Cr structure | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 145 | - |
| dc.citation.endingpage | 146 | - |
| dc.citation.publicationname | 제12회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이병기 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최동훈 | - |
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