Showing results 3 to 4 of 4
고분해능을 갖는 연 X-선 lithography용 비구면 4-반사 광학계의 설계 및 평가 = Optical design and evaluation of the aspherized 4 mirror optical system for high resolution for soft X-ray projection lithographylink 임천석; Rim, Cheon-Seog; et al, 한국과학기술원, 1996 |
광학설계의 안정성 평가에 관한 Tolerance 이론 = Tolerance theory for stability assessment of optical designlink 박찬영; Park, Chan-Young; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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