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단결정 Si 표면에의 $Al_2O_3$ 화학증착에 있어서 반응변수가 증착속도 및 표면형상에 미치는 영향에 대한 연구 = The effects of deposition variables on deposition rate & morphology in the chemical vapor deposition of $Al_2O_3$ onto silicon single crystallink 김철; Kim, Chul; et al, 한국과학기술원, 1983 |
증착변수가 $Al_2O_3$ 화학증착에 미치는 영향에 대한 연구 = The effects of deposition variables on the chemical vapor deposition of $Al_2O_3$link 박철순; Park, Chul-Soon; 남수우; 천성순; et al, 한국과학기술원, 1982 |
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