DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 김윤지 | ko |
dc.contributor.author | 윤세찬 | ko |
dc.contributor.author | 한원 | ko |
dc.contributor.author | 조영호 | ko |
dc.contributor.author | 박호준 | ko |
dc.contributor.author | 장병규 | ko |
dc.contributor.author | 오용수 | ko |
dc.date.accessioned | 2013-03-09T00:49:08Z | - |
dc.date.available | 2013-03-09T00:49:08Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 2010-12 | - |
dc.identifier.citation | 대한기계학회논문집 A, v.34, no.12, pp.1805 - 1810 | - |
dc.identifier.issn | 1226-4873 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/94866 | - |
dc.description.abstract | 본 논문에서는 알루미늄 박판의 다단 전해식각을 공정을 이용한 3 차원 마이크로 구조물 제작방법을 제안한다. 본 공정은 기존 전해가공 공정들에 비해 3 차원 구조물의 대량생산이 용이하며, 기존 3 차원 마이크로 금속 구조물의 제작을 위한 다단 도금방법에 비해 간단하고, 경제적일 뿐만 아니라, 성형된 금속 박판을 이용하므로 구조물의 물성이 안정적이다. 본 논문에서는 단일 전해식각 공정을 통한 2 차원 외팔보 열과 다단 전해식각 공정을 통한 3 차원 마이크로 구조물의 제작을 수행하였다. 단일 전해식각 공정에서 평균 수직방향 식각률 1.50±0.10 ㎛/min 와 평균 수평방향 식각률 0.77±0.03 ㎛/min 을 얻었으며, 이를 이용한 3 차원 마이크로 구조물을 제작한 결과, 수직방향으로 15.5±5.8 %, 수평방향으로 3.3±0.9 % 의 제작오차와 37.4±9.6 nm 의 표면조도를 보였다. | - |
dc.language | Korean | - |
dc.publisher | 대한기계학회 | - |
dc.title | 알루미늄 박판의 다단 전해식각 공정을 이용한 3 차원 마이크로 구조물의 제작 | - |
dc.title.alternative | Three-Dimensional Microstructures Fabricated by Multi-Step Electrochemical Aluminum-Foil Etching | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.citation.volume | 34 | - |
dc.citation.issue | 12 | - |
dc.citation.beginningpage | 1805 | - |
dc.citation.endingpage | 1810 | - |
dc.citation.publicationname | 대한기계학회논문집 A | - |
dc.identifier.kciid | ART001497026 | - |
dc.contributor.localauthor | 조영호 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 김윤지 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 윤세찬 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 한원 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 박호준 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 장병규 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 오용수 | - |
dc.subject.keywordAuthor | Multi-step Electrochemical Etching | - |
dc.subject.keywordAuthor | 3D Microstructure | - |
dc.subject.keywordAuthor | Aluminum-foil | - |
dc.subject.keywordAuthor | Micro Probe | - |
dc.subject.keywordAuthor | 다단 전해식각 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 3 차원 마이크로 구조물 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 알루미늄 박판 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 마이크로 프로브 | - |
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