이진 컴퓨터 형성 홀로그램을 이용한 비구면 형상 측정용 위상편이 회절격자 간섭계Diffraction Grating Interferometer for Null Testing of Aspheric Surface with Binary Amplitude CGH

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dc.contributor.author황태준ko
dc.contributor.author김승우ko
dc.date.accessioned2013-03-05T02:28:21Z-
dc.date.available2013-03-05T02:28:21Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued2004-08-
dc.identifier.citation한국광학회지, v.15, no.4, pp.313 - 320-
dc.identifier.issn1225-6285-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/85044-
dc.description.abstract위상편이 회절격자 간섭계와 이진 컴퓨터 형성 홀로그램을 제작하여 널 시스템을 구성하고 비구면형상 측정 시스템을 구축하였다. 제안하는 시스템은 비구면형상에 맞게 제작된 이진 컴퓨터 형상 홀로그램과 가시도가 조정된 위상편이 회절격자간섭계로 이루어져있 다. 위상편이 회절격자간섭계는 회절격자의 홈 형상이나 간섭을 일으킬 측정광과 기준광을 바꿈으로써 가시도를 쉽게 조절할 수 있고, 높은 수준의 측정 정확도를 가지는 장점을 가지고 있다. 이진 컴퓨터 형성 홀로그램은 비구면의 정보를 통하여 컴퓨터로 수치모사한 후 전자-빔 리토그래피 장비로 제작할 수 있고, 위상편이 회절격자 간섭계, 비구면과 함께 자동곡률측정 방식으로 설치된다. 간섭계와 홀로그램을 제작한 후 비구면을 측정, 실험을 수행하고 시스템을 평가하였다-
dc.languageKorean-
dc.publisher한국광학회-
dc.title이진 컴퓨터 형성 홀로그램을 이용한 비구면 형상 측정용 위상편이 회절격자 간섭계-
dc.title.alternativeDiffraction Grating Interferometer for Null Testing of Aspheric Surface with Binary Amplitude CGH-
dc.typeArticle-
dc.type.rimsART-
dc.citation.volume15-
dc.citation.issue4-
dc.citation.beginningpage313-
dc.citation.endingpage320-
dc.citation.publicationname한국광학회지-
dc.identifier.kciidART001035124-
dc.contributor.localauthor김승우-
dc.contributor.nonIdAuthor황태준-
dc.subject.keywordAuthorPhase-shifting diffraction grating interferometer-
dc.subject.keywordAuthorComputer generated hologram-
dc.subject.keywordAuthorAspherics.-
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ME-Journal Papers(저널논문)
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