원자외선에 의한 자기조립 단분자막의 서브마이크론 패턴 제작과 이를 이용한 생물 포토다이오드의 어레이 제작에 관한 연구Submicron Patterning of Self-assembled Monolayer with a Deep UV Light and Fabrication of Biomolecular Photodiode Array
원자외선을 가지고 패턴을 형성한 11-mercaptoundecanoic acid(11-MUDA) 자기조립 단분자막을 사용하여 생물 전자소자를 제작하였다. 금 기판에 11-MUDA 분자를 흡착시키고 700 nm의 크기를 갖는 네거티브형 마스크를 이용하여 원자외선으로 조사한 후 deionized water를 사용하여 현상하였다. Cytochrome c와 GFP 단백질의 복합층은 패턴이 형성된 11-MUDA 자기 조립 단분자막 위에 고정화시켜 제작하였다. Cytochrome c 단층막의 전기화학적 특성과 표면특성은 cyclicvoltammetry와 AFM을 사용하여 조사하였고 cytochrome c와 GFP 다층막의 정류 특성은 STM을 사용하여 측정분석하였다.