거친 표면 형상측정을 위한 큰 등가파장 회절격자 간섭계Diffraction grating interferometer of large equivalent wavelength for flatness testing of rough surfaces

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dc.contributor.author황태준ko
dc.contributor.author김승우ko
dc.date.accessioned2013-03-03T18:38:46Z-
dc.date.available2013-03-03T18:38:46Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued2004-02-
dc.identifier.citation한국광학회지, v.15, no.1, pp.1 - 7-
dc.identifier.issn1225-6285-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/79932-
dc.description.abstract거친 표면의 형상을 측정하기 위해서 큰 등가파장 회절격자간섭계를 구성하였다. 제안된 시스템은 두 개의 투과회적격자를 사용해서 두 광을 측정물체에 각각 다른 각으로 경사지게 입사시켜서, 그 입사각에 따른 큰 등가파장의 간섭무늬를 얻는다. 이런 등가파장 간섭계는 기존의 광학 간섭계보다 넓은 영역에 걸쳐서 거친 표면을 빠른 시간에 측정할 수 있다. 제안된 시스템은 편광광속분할기와, 광속분할기, 프리즘을 사용해서, 불필요한 광을 제거하는 부분을 설계하여, 회절격자의 불필요한 회절광을 최소화하고, 회절격자의 형상으로 인한 시스템 오차를 줄였다. 뿐만 아니라, 큰 작동거리를 가지며 정렬이 쉽다. 측정정밀도를 향상시키기 위하여 위상편이법을 도입하였고, 등가파장보정법을 제안하였다. 실험을 통해서 측정시스템을 평가해보았다.-
dc.languageKorean-
dc.publisher한국광학회-
dc.title거친 표면 형상측정을 위한 큰 등가파장 회절격자 간섭계-
dc.title.alternativeDiffraction grating interferometer of large equivalent wavelength for flatness testing of rough surfaces-
dc.typeArticle-
dc.type.rimsART-
dc.citation.volume15-
dc.citation.issue1-
dc.citation.beginningpage1-
dc.citation.endingpage7-
dc.citation.publicationname한국광학회지-
dc.identifier.kciidART001122248-
dc.contributor.localauthor김승우-
dc.contributor.nonIdAuthor황태준-
dc.subject.keywordAuthorinterferometry-
dc.subject.keywordAuthordiffraction grating-
dc.subject.keywordAuthorphase-shifting.-
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ME-Journal Papers(저널논문)
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