거친 표면 형상측정을 위한 큰 등가파장 회절격자 간섭계Diffraction grating interferometer of large equivalent wavelength for flatness testing of rough surfaces
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 황태준 | ko |
| dc.contributor.author | 김승우 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-03T18:38:46Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-03T18:38:46Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2004-02 | - |
| dc.identifier.citation | 한국광학회지, v.15, no.1, pp.1 - 7 | - |
| dc.identifier.issn | 1225-6285 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/79932 | - |
| dc.description.abstract | 거친 표면의 형상을 측정하기 위해서 큰 등가파장 회절격자간섭계를 구성하였다. 제안된 시스템은 두 개의 투과회적격자를 사용해서 두 광을 측정물체에 각각 다른 각으로 경사지게 입사시켜서, 그 입사각에 따른 큰 등가파장의 간섭무늬를 얻는다. 이런 등가파장 간섭계는 기존의 광학 간섭계보다 넓은 영역에 걸쳐서 거친 표면을 빠른 시간에 측정할 수 있다. 제안된 시스템은 편광광속분할기와, 광속분할기, 프리즘을 사용해서, 불필요한 광을 제거하는 부분을 설계하여, 회절격자의 불필요한 회절광을 최소화하고, 회절격자의 형상으로 인한 시스템 오차를 줄였다. 뿐만 아니라, 큰 작동거리를 가지며 정렬이 쉽다. 측정정밀도를 향상시키기 위하여 위상편이법을 도입하였고, 등가파장보정법을 제안하였다. 실험을 통해서 측정시스템을 평가해보았다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국광학회 | - |
| dc.title | 거친 표면 형상측정을 위한 큰 등가파장 회절격자 간섭계 | - |
| dc.title.alternative | Diffraction grating interferometer of large equivalent wavelength for flatness testing of rough surfaces | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 15 | - |
| dc.citation.issue | 1 | - |
| dc.citation.beginningpage | 1 | - |
| dc.citation.endingpage | 7 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국광학회지 | - |
| dc.identifier.kciid | ART001122248 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황태준 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | interferometry | - |
| dc.subject.keywordAuthor | diffraction grating | - |
| dc.subject.keywordAuthor | phase-shifting. | - |
- Appears in Collection
- ME-Journal Papers(저널논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.