열기계적으로 연마한 다이아몬드 막의 적외선 투과도 및 표면구조

Abstract

열 필라멘트 화학기상증착법에 의해서 제작한 다이아몬드 막의 거친 성장면을 열기계적 연마법에 의해서 연마한 후, 적외선 영역에서의 투과도 측정, 막 표면의 구조분석을 통하여 광학적 창에의 응용을 검토하였다. 비교를 위해 증착상태 및 기계연마한 막에 대해서도 동일 실험을 행하였다. 기계연마한 막의 투과도는 약 57~66%를 나타내는 반면, 열기계적으로 연마한 경우는 약 35% 이하로 상당히 낮은 투과도를 나타내었으며 증착한 상태의 그것과 비슷하였다. 이 투과도의 감소는 열기계적으로 연마하는 경우 연마과정 중에 연마면에서는 다이아몬드의 흑연화, Si 기판과의 계면에서는 β-SiC의 성장에 의한 광범위 흡수효과에 기인한 것이었다. 또한, 열기계적으로 연마한 표면에서는 Fe가 잔존하였으며 이것이 다이아몬드의 흑연화에의 촉매 역할을 하였다.