시뮬레이션기반의 엣칭공정 생산운영대안 분석시스템A Simulation-Based Decision Support System for Operations of Etching Workstations
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 신용호 | ko |
| dc.contributor.author | 서정원 | ko |
| dc.contributor.author | 이태억 | ko |
| dc.contributor.author | 한익환 | ko |
| dc.contributor.author | 최철 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-02T19:27:31Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-02T19:27:31Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1997-03 | - |
| dc.identifier.citation | 산업공학(IE INTERFACES), v.10, no.1, pp.23 - 35 | - |
| dc.identifier.issn | 1225-0996 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/75153 | - |
| dc.description.abstract | 혼류생산을 위한 반도체 웨이퍼제조라인중 엣칭공정의 생산운영대안의 평가를 위한 시뮬레이션 기반의 분석시스템의 개발사례를 소개한다. 엣칭공정의 공정특성 및 작업흐름을 소개하고 생산운영을 위한 의사결정문제를 설명한다. 생산운영대안의 평가 및 비교를 위해서는 시뮬레이션 모델을 활용한다. 웨이퍼의 회로계층의 수만큼 일련의 제조공정을 반복하는 반복방문 방식의 작업흐름 특성 때문에 생기는 타 공정과의 연관성을 반영하되 엣칭공정의 작업흐름에 촛점을 맞추기 위해 엣칭공정 이외의 타공정을 단순화시키는 모델링기법을 사용하였다. 엣칭베이내의 복잡한 작업흐름 및 장비운영제약 조건등을 모델링하기 위해 활용한 객체지향방식의 모델링기법의 적용사례를 소개한다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회 | - |
| dc.title | 시뮬레이션기반의 엣칭공정 생산운영대안 분석시스템 | - |
| dc.title.alternative | A Simulation-Based Decision Support System for Operations of Etching Workstations | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 10 | - |
| dc.citation.issue | 1 | - |
| dc.citation.beginningpage | 23 | - |
| dc.citation.endingpage | 35 | - |
| dc.citation.publicationname | 산업공학(IE INTERFACES) | - |
| dc.contributor.localauthor | 이태억 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 신용호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서정원 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한익환 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최철 | - |
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- IE-Journal Papers(저널논문)
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