고주파 평면 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ZnO 박막의 원자 충돌로 인한 결정성 변화

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Publisher
한국물리학회
Issue Date
1996-01
Language
Korean
Citation

응용물리, v.9, no.0, pp.0 - 33

URI
http://hdl.handle.net/10203/72928
Appears in Collection
PH-Journal Papers(저널논문)
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