다결정 실리콘 패드를 이용한 평면형 안티퓨즈의 소자특성 및 금속도선 형성에 관한 연구Device Characteristics and Metal Link Formation in the Planar Antifuse with Poly-Si Pad
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 백종태 | ko |
| dc.contributor.author | 정승훈 | ko |
| dc.contributor.author | 강상원 | ko |
| dc.contributor.author | 안병태 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-28T01:57:02Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-28T01:57:02Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1996-12 | - |
| dc.identifier.citation | 전자공학회논문지 A, v.33, no.8, pp.158 - 166 | - |
| dc.identifier.issn | 1016-135X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/72166 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한전자공학회 | - |
| dc.title | 다결정 실리콘 패드를 이용한 평면형 안티퓨즈의 소자특성 및 금속도선 형성에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Device Characteristics and Metal Link Formation in the Planar Antifuse with Poly-Si Pad | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 33 | - |
| dc.citation.issue | 8 | - |
| dc.citation.beginningpage | 158 | - |
| dc.citation.endingpage | 166 | - |
| dc.citation.publicationname | 전자공학회논문지 A | - |
| dc.contributor.localauthor | 안병태 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 백종태 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정승훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강상원 | - |
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