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Evaluation of high voltage generator MOSFET with green laser annealing for M3D based Peri-on-Cell flash memory = 그린 레이저를 이용한 모노리식 3D 집적 기반 페리-온-셀 플래시 메모리 내 고전압 전하 펌핑 회로 소자 구현link Kim, Hee Tae; Cho, Byung Jin; et al, 한국과학기술원, 2023 |
Monolithic 3D 집적 공정에서의 ILD 두께에 따른 열 분포 분석 정재중; 박영근; 백용구; 김희태; 김동빈; 조병진, 제 30회 한국반도체학술대회, SK하이닉스, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합, 2023-02-14 |
그린 레이저 다중 조사 열처리 공정 도입을 통한 Monolithic 3D (M3D) 상부 PMOS 소자 특성 향상 박영근; 정재중; 백용구; 노세민; 김희태; 김동빈; 조병진, 제 30회 한국반도체학술대회, SK하이닉스, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합, 2023-02-14 |
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