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3차원 마이크로 디바이스 개발을 위한 나노 스테레오리소그래피 공정 개발에 관한 연구 임태우; 양동열; 이신욱; 공홍진; 이광섭; 박상후, 전기학회논문지 C권, v.55, no.1(C), pp.45 - 49, 2006-01 |
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