Browse "ME-Journal Papers(저널논문)" by Author 홍동표

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고속 세틀링과 고정밀 위치제어를 위한 모드변경 제어기법

김정재; 김기현; 최영만; 홍동표; 권대갑, 반도체및디스플레이장비학회지, v.5, no.4, pp.1 - 4, 2006-12

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