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Decoupled Type의 초정밀 이중서보의 제어에 관한 연구 남병욱; 김기현; 최영만; 김정재; 이석원; 권대갑, 한국정밀공학회지, v.23, no.2, pp.43 - 50, 2006-02 |
VCM을 이용한 나노 정밀도 스캐닝 용 초정밀 이중 스테이지 김기현; 권대갑; 최영만; 김동민; 남병욱; 이석원; 이문구, 한국정밀공학회지, v.22, no.5, pp.103 - 112, 2005-05 |
고속 세틀링과 고정밀 위치제어를 위한 모드변경 제어기법 김정재; 김기현; 최영만; 홍동표; 권대갑, 반도체및디스플레이장비학회지, v.5, no.4, pp.1 - 4, 2006-12 |
초정밀 선형 모터 시스템의 적응형 힘리플 보상과 정밀 트랙킹 제어 최영만; 권대갑; 이문구, 한국정밀공학회지, v.22, no.12, pp.51 - 60, 2005-12 |
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