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Characteristics of helicon wave plasmas and application to low dielectric film deposition = 헬리콘 파 플라즈마의 특성 및 저유전율 박막 증착에의 응용link Yun, Seok-Min; 윤석민; et al, 한국과학기술원, 1999 |
펄스 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ITO 막박 증착에 관한 연구 = Characteristics of ITO thin film by using pulsed-DC magnetron sputteringlink 이진우; Lee, Jin-U; et al, 한국과학기술원, 2011 |
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