Showing results 2 to 3 of 3
낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치 장홍영; 서상훈; 정원봉; 채수항; 김재현; 이상원; 엄세훈, 2008-03-27 |
저유전율 박막 제조 공정을 위한 자외선 소스의 개발 = Development of UV source for low dielectric material processinglink 정원봉; Jung, Won-Bong; et al, 한국과학기술원, 2002 |
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