알루미나 세라믹과 금속과의 접합 거동

Abstract

초고순도 alumina소결체에 $Mo-Al_2O_3-MnO-SiO_2$ 계와 $Mo-Al_2O_3-CaO-MgO$ 계의 metallizing 환합물을 건조한 수소분위기에서 metallizing시켜 alumina소결체의 기공율, metallizing온도, 그리고 metallizing혼합물의 조성과 접합강도와의 관계를 검토하였으며 이에 대한 접합기구에 대하여 논하였다. Alumina소결체의 기공율이 2.2 \% 까지는 접합강도가 증가하나 그 이상의 기공율에서는 접합강도는 큰 증가를 보이지 않으며 metallizing온도가 증가함에 따라서 접합강도가 증가한다. 또 metallizing혼합물 속의 유리질의 열팽창계수가 molybdenum 보다 큰 유리질이 molybdenum 보다 작은 유리질보다 높은 접합강도를 갖게 된다. Alumina소결체와 metallizing혼합물에 대한 접합기구는 metallizing혼합물 속에 첨가된 금속산화물들이 metallizing온도에서 유리상이 만들어짐과 동시에 alumina가 용해되어 이루어지는 접합이라고 믿어진다.