학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 1998.8, [ xii, 94 p. ]
Alicyclic methacrylate; Hydroxycyclohexyl methacrylate; DUV photoresist; Dry-etching resistance; 건식내에칭성; 지방족 고리형 메타크릴레이트; 히드록시시클로헥실 메타크릴레이트; 원자외선 레지스트
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