R.F. 마그네트론 스퍼터링법으로 증착 한 전도성 페로브스카이트 $LaNiO_3$ 박막의 구조 및 전기적 특성 연구 = Structural and electrical properties of conductive Perovskite $LaNiO_3$ thin films prepared by R.F. magnetron sputtering

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Advisors
주웅길Choo, Woong-Kil
Description
한국과학기술원 : 신소재공학과,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2005
Identifier
249462/325007  / 020015822
Language
kor
Description

학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2005.8, [ xi, 102 p ]

Keywords

결정 구조; 강유전 박막; 스퍼터링; 산화물 전극; electrode; PZT; sputtering

URI
http://hdl.handle.net/10203/49630
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=249462&flag=dissertation
Appears in Collection
MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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