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1
PLD 법을 이용한 $YBa_2Cu_3O_x$ 고온 초전도체의 증착특성에 관한 연구 = A study on deposition of $YBa_2Cu_3O_x$ high temperature superconductor by PLDlink

황두섭; Hwang, Doo-Sup; 천성순; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1996

2
(A) study on the atomic layer deposition of Ti-Al-N thin films using plasmas = 플라즈마를 이용한 Ti-Al-N 박막의 원자층 증착법에 관한 연구link

Lee, Yong-Ju; 이용주; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2003

3
ALD와 PEALD를 이용한 $Al_2O_3$ 박막 증착에 관한 연구 = A study on the $Al_2O_3$ thin film deposition by ALD and PEALDlink

전우석; Jeon, Woo-Seok; 강상원; Kang, Sang-Won, 한국과학기술원, 2003

4
(A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link

Kim, Jin-Hyock; 김진혁; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2005

5
세라믹스 및 박막으로 구현된 MPB 조성의 $PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-PbTiO_3$ 고용체의 상공존 안정성 및 전기적 특성 = Phase stability and electrical properties of thin film and ceramics near the morphotropic phase boundary of $(1-x)PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-(x)PbTiO_3$link

임기빈; Im, Ki-Vin; 주웅길; Choo, Woong-Kil, 한국과학기술원, 2001

6
Characteristics of fluorinated amorphous carbon thin film deposited using ICP-CVD as a low dielectric interlayer dielectrics = ICP-CVD를 이용하여 증착한 저유전율 층간절연 박막용 불소함유 비정질 박막의 특성link

Han, Sang-Soo; 한상수; Bae, Byeong-Soo; 배병수, 한국과학기술원, 2001

7
FRAM 소자 응용을 위한 ECR PECVD PZT 커패시터 특성에 미치는 전극의 영향 = Effect of electrodes on the characteristics of ECR PECVD PZT capacitors for the application to FRAM deviceslink

이희철; Lee, Hee-Chul; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 2002

8
Origin of residual stress and its relationship with crystallographic orientation of sputtered thin films = 스퍼터링법으로 증착한 박막의 잔류응력 생성 원인 및 결정 방향성과의 관계link

Choi, Han-Mei; 최한메; Choi, Si-Kyung; 최시경, 한국과학기술원, 1999

9
ECR-PECVD PZT 박막의 FRAM 소자로의 응용에 관한 연구 = The study on the applicaions to FRAM with PZT thin film fabricated by ECR-PECVDlink

정수옥; Chung, Su-Ock; 이원종; 천성순; Lee, Won-Jong; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 2000

10
타이타늄실리사이드 박막의 응집현상과 응력의 영향에 관한 연구 = Study on the agglomeration of TiSi2 thin film and stress effectlink

나종주; Rha, Jong-Joo; 박중근; Park, Joong-Keun, 한국과학기술원, 1997

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