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Characteristics of fluorinated amorphous carbon thin film deposited using ICP-CVD as a low dielectric interlayer dielectrics = ICP-CVD를 이용하여 증착한 저유전율 층간절연 박막용 불소함유 비정질 박막의 특성link Han, Sang-Soo; 한상수; Bae, Byeong-Soo; 배병수, 한국과학기술원, 2001 | |
광리소그래피 위상변위마스크용 Cr-Al-O-N 박막의 개발 = Development of chromium aluminum oxynitride films as a phase shifting mask material for optical lithographylink 김은아; Kim, Eun-Ah; 노광수; No, Kwang-Soo, 한국과학기술원, 2001 | |
세라믹스 및 박막으로 구현된 MPB 조성의 $PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-PbTiO_3$ 고용체의 상공존 안정성 및 전기적 특성 = Phase stability and electrical properties of thin film and ceramics near the morphotropic phase boundary of $(1-x)PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-(x)PbTiO_3$link 임기빈; Im, Ki-Vin; 주웅길; Choo, Woong-Kil, 한국과학기술원, 2001 |
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