| 11 | ALD와 PEALD를 이용한 $Al_2O_3$ 박막 증착에 관한 연구 = A study on the $Al_2O_3$ thin film deposition by ALD and PEALDlink 전우석; Jeon, Woo-Seok; 강상원; Kang, Sang-Won, 한국과학기술원, 2003 |
| 12 | DLI-MOCVD법을 이용한 Pb계 강유전체 박막의 저온 증착 = Low temperature metalorganic chemical vapor deposition of Pb-based ferroelectric thin films using direct liquid injection systemslink 변경문; Byun, Kyung-Mun; 이원종; Lee, Won-Jong, 한국과학기술원, 2004 |
| 13 | Origin of residual stress and its relationship with crystallographic orientation of sputtered thin films = 스퍼터링법으로 증착한 박막의 잔류응력 생성 원인 및 결정 방향성과의 관계link Choi, Han-Mei; 최한메; Choi, Si-Kyung; 최시경, 한국과학기술원, 1999 |
| 14 | (A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link Kim, Jin-Hyock; 김진혁; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2005 |
| 15 | 세라믹스 및 박막으로 구현된 MPB 조성의 $PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-PbTiO_3$ 고용체의 상공존 안정성 및 전기적 특성 = Phase stability and electrical properties of thin film and ceramics near the morphotropic phase boundary of $(1-x)PbYb_{1/2}Nb_{1/2}O_3-(x)PbTiO_3$link 임기빈; Im, Ki-Vin; 주웅길; Choo, Woong-Kil, 한국과학기술원, 2001 |
| 16 | PLD 법을 이용한 $YBa_2Cu_3O_x$ 고온 초전도체의 증착특성에 관한 연구 = A study on deposition of $YBa_2Cu_3O_x$ high temperature superconductor by PLDlink 황두섭; Hwang, Doo-Sup; 천성순; Chun, Soung-Soon, 한국과학기술원, 1996 |
