Results 1-2 of 2 (Search time: 0.004 seconds).
NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
---|---|
(A) study on the atomic layer deposition of Ti-Al-N thin films using plasmas = 플라즈마를 이용한 Ti-Al-N 박막의 원자층 증착법에 관한 연구link Lee, Yong-Ju; 이용주; Kang, Sang-Won; 강상원, 한국과학기술원, 2003 | |
ALD와 PEALD를 이용한 $Al_2O_3$ 박막 증착에 관한 연구 = A study on the $Al_2O_3$ thin film deposition by ALD and PEALDlink 전우석; Jeon, Woo-Seok; 강상원; Kang, Sang-Won, 한국과학기술원, 2003 |
Discover