Browse "MS-Theses_Ph.D.(박사논문) " by Author 천성순

Showing results 1 to 31 of 31

1
Boron 화학증착에서 즌착기수 및 증팍층 결정특성에 관한 연구 = The deposition mechanism and the deposit structure in chemical vapor deposition of boronlink

박철순; Park, Chul-Soon; et al, 한국과학기술원, 1985

2
Cu/TiN/Ti/Si 다층막의 열처리에 관한 연구 = A study on the annealing of the Cu/TiN/Ti/Si Multilayerlink

라사균; Rha, Sa-Kyun; 박종욱; 천성순; et al, 한국과학기술원, 1997

3
ECR PECVD법을 이용한 ULSI DRAM Capacitor용 (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 제조 및 특성 평가 연구 = Fabrication and characterization of ECR PECVD (Pb,La)(Zr,Ti)$O_3$ thin films for the charge storage capacitors of ULSI DRAMlink

신중식; Shin, Joong-Shik; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 1997

4
ECR-PECVD PZT 박막의 FRAM 소자로의 응용에 관한 연구 = The study on the applicaions to FRAM with PZT thin film fabricated by ECR-PECVDlink

정수옥; Chung, Su-Ock; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000

5
Fe-base 및 Ni-base alloy 위에 증착된 TiN 박막의 증착특성 및 전기화학적 특성 = Deposition characteristics and electrochemical properties of TiN films deposited on Fe-base alloy and Ni-base alloylink

인치범; In, Chi-Bum; et al, 한국과학기술원, 1995

6
Li과 Ti 이온을 함유한 운모 결정화 유리에 관한 연구 = Crystrallization of mica in Li-and Ti-containing galsseslink

백동수; Baik, Dong-Soo; et al, 한국과학기술원, 1995

7
MOCVD법에 의한 YBaCuO 박막 증착 및 그 응용에 관한 연구 = Study on the deposition and application of MOCVD YBaCuO thin filmlink

조창현; Cho, Chang-Hyun; et al, 한국과학기술원, 1995

8
MOCVD법에 의해 제조된 고온초전도 $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 박막의 물성에 관한 연구 = The study on the properties of high Tc superconducting $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ thin films prepared by metal organic chemical vapor depositionlink

김상호; Kim, Sang-Ho; et al, 한국과학기술원, 1992

9
PLD 법을 이용한 $YBa_2Cu_3O_x$ 고온 초전도체의 증착특성에 관한 연구 = A study on deposition of $YBa_2Cu_3O_x$ high temperature superconductor by PLDlink

황두섭; Hwang, Doo-Sup; et al, 한국과학기술원, 1996

10
$Si_3N_4$-TiC Ceramic 에 TiC,Ti(C,N),TiN의 화학증착에 관한 연구 = A study on the chemical vapor deposition of TiC,Ti(C,N),and TiN on $Si_3N_4$-TiC ceramiclink

김동원; Kim, Dong-Won; et al, 한국과학기술원, 1988

11
Silicon nitride 화학 증착에서 증착 기구와 계면 전하 및 trap density 에 관한 연구 = A study on the chemical vapor deposition of silicon nitride and the characteristics of interfacial charge and trap densitylink

이경수; Yi, Kyoung-Soo; et al, 한국과학기술원, 1987

12
Ti 박막으로 부터 급속 열처리에 의한 $TiSi_2$ 형성에 관한 연구 = A study on the formation of $TiSi_2$ from thin Ti film by rapid thermal processlink

강상원; Kang, Sang-Won; 천성순; 박신종; et al, 한국과학기술원, 1990

13
TiC 화학증착과 TiN 플라즈마 화학증착의 증착기구 및 증착층의 특성에 관한 연구 = The deposition characteristics and structural properties of TiC deposited by chemical vapour deposition and TiN deposited by plasma enhanced chemical vapour depositionlink

장동훈; Jang, Dong-Hoon; et al, 한국과학기술원, 1988

14
금속 유기 화학 증착법에 의해 증착된 구리 박막의 증착 및 물성에 관한 연구 = A study on the deposition and the film characteristics of MOCVD copper thin filmslink

윤수식; Yoon, Soo-Sik; et al, 한국과학기술원, 1996

15
반응기체의 분압이 $Al_2O_3$ 의 화학증탁에 미치는 영향에 관한 연구 = Effect of partial pressure of reactantgas on the chemical vapor deposition of $Al_2O_3$link

김재곤; Kim, Jae-Gon; et al, 한국과학기술원, 1982

16
분자선 성장법에 의한 갈륨비소 전력소자의 공정 및 전기적 특성 분석에 관한 연구 = A study on GaAs MBE-grown power device and its electrical charateristicslink

맹성재; Maeng, Sung-Jae; et al, 한국과학기술원, 1996

17
분할 화학증착방법으로 증착된 알루미늄 박막의 선택성 및 표면 morphology 개선에 관한 연구 = A study on the improvement of the selectivity and surface morphology of al thin film by cycle chemical vapor depositionlink

안상덕; Ahn, Seong-Deok; 강상원; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000

18
비정질 실리콘 카바이드 화학증착 공정의 수치모사화 및 광학적, 전기적 특성연구 = A study on the process simulation and the properties of deposited a-SiC films in chemical vapor depositionlink

박영진; Park, Young-Jin; et al, 한국과학기술원, 1990

19
유기금속화학증착법에 의한 GaAs 와 $Al_xGa_{1-x}$As 의다층에피 성장 = Multilayer epitaxial growth of GaAs and $Al_xGa_{1-x}$ by metalorganic chemical vapor depositionlink

김무성; Kim, Moo-Sung; et al, 한국과학기술원, 1986

20
전자빔 손상이 n-MOSFET의 전기적 특성에 미치는 영향 = Effects of electron beam damage on the electrical characteristics of n-MOSFETslink

전영진; Jeon, Young-Jin; et al, 한국과학기술원, 1994

21
코발트계 박막합금의 비정질형성범위와 자기적성질에 관한 연구 = Glass forming range and magnetic properties of Co-base thin film alloyslink

김희중; Kim, Hi-Jung; et al, 한국과학기술원, 1988

22
텅스텐 박막의 저압화학 증착 기구 및 증착층의 특성에 관한 연구 = A study on the mechanisms of tungsten low pressure chemical vapor deposition and the characteristics of the deposited layerlink

박흥락; Park, Heung-Lak; 천성순; 남수우; et al, 한국과학기술원, 1989

23
티타늄 첨가 동합금을 Brazing filler 로 사용한 질화규소와 철강의 접합기구 = Bonding mechanism between $Si_3N_4$ and steel using titanium added copper alloy as a brazing fillerlink

김대훈; Kim, Dae-Hun; 천성순; 황선효; et al, 한국과학기술원, 1990

24
플라즈마 화학 증착법에 의하여 증착된 TiN,TiCxNy 박막의 증착 특성 및 물성에 관한 연구 = The study on the deposition characteristics and properties of the TiN and TiCxNy coatings by plasma assisted chemical vapor depositionlink

김시범; Kim, Si-Bum; et al, 한국과학기술원, 1991

25
플라즈마 화학증착법에 의하여 증착된 Aluminum oxide 절연박막의 특성에 관한 연구 = A study on the properties of the aluminum oxide dielectric films deposited by plasma enhanced chemical vapor depositionlink

강창진; Kang, Chang-Jin; et al, 한국과학기술원, 1990

26
플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 기억소자용 고유전 탄탈륨 산화박막에 관한 연구 = PECVD $Ta_2O_5$ dielectric thin films for memory deviceslink

김일; Kim, Il; et al, 한국과학기술원, 1995

27
플라즈마 화학증착법에 의해 증착된 알루미늄 산화막의 증착 기구와 전기적 특성에 관한 연구 = A study on the deposition mechanism and the electrical properties of aluminum oxide films deposited by plasma enhanced chemical vapor depositionlink

김용천; Kim, Yong-Chun; et al, 한국과학기술원, 1993

28
화학증착법에 의한 $SnO_2$의 증착기구 및 전기적성질에 관한 연구 = The deposition mechanism and electrical properties of $SnO_2$ by chemical vapor depositionlink

김광호; Kim, Kwang-Ho; et al, 한국과학기술원, 1986

29
화학증착법에 의해 제조된 Blanket 및 selective 텅스텐박막의 물성에 관한 연구 = The study on the properties of blanket and selective tungsten prepered by CVDlink

박영욱; Park, Young-Wook; et al, 한국과학기술원, 1991

30
화학증착에 의한 Silicon carbide 증착층의 증착기구및 기계적 성질에 대한 연구 = A study on deposition mechanism and mechanical property of silicon carbide layer by chemical vapor depositionlink

소명기; So, Myoung-Gi; et al, 한국과학기술원, 1988

31
燒結炭化物에 化學蒸着한 TiC層의 成長에 關한 硏究 = Growth of chemical vapor deposited titanium-carbide layer on sintered cemented carbidelink

이채우; Lee, Chae-Woo; et al, 한국과학기술원, 1981

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