Browse "MS-Theses_Ph.D.(박사논문) " by Author 강상원

Showing results 1 to 24 of 24

1
A study on the step coverage modeling of thin films in atomic layer deposition = 원자층 증착법으로 형성된 박막의 단차 피복성 예측을 위한 모델링에 관한 연구link

Kim, Ja-Yong; 김자용; et al, 한국과학기술원, 2007

2
(A) study on $SrTiO_3$ thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition for DRAM capacitor dielectric = PEALD법으로 증착된 DRAM capacitor 유전체용 $SrTiO_3$ 박막의 특성에 관한 연구link

Ahn, Ji-Hoon; 안지훈; et al, 한국과학기술원, 2009

3
(A) study on plasma-enhanced atomic layer deposition of Ta-Si-O thin films = 탄탈륨 실리콘 산화막의 플라즈마 원자층 증착법에 관한 연구link

Song, Hyun-Jung; 송현정; et al, 한국과학기술원, 2003

4
(A) study on the ald modeling for process design of multi-component thin films = 다성분계박막 공정설계를 위한 원자층증착법 모델링에 대한 연구link

Chung, Hoi-Sung; 정회성; et al, 한국과학기술원, 2008

5
(A) study on the atomic layer deposition mechanism and characteristics of Ti-N,Ti-Si-N films deposited by cycle­CVD = Cycle-CVD 법으로 증착된 Ti-N, Ti-Si-N 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구link

Min, Jae-Sik; 민재식; et al, 한국과학기술원, 1999

6
(A) study on the atomic layer deposition of Ti-Al-N thin films using plasmas = 플라즈마를 이용한 Ti-Al-N 박막의 원자층 증착법에 관한 연구link

Lee, Yong-Ju; 이용주; et al, 한국과학기술원, 2003

7
(A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link

Kim, Jin-Hyock; 김진혁; et al, 한국과학기술원, 2005

8
(A) study on the kinetic model the thin film growth in ALD = ALD 박막 성장에 관한 동역학적 model 연구link

Lim, Jung-Wook; 임정욱; et al, 한국과학기술원, 2001

9
(A) study on the novel heating resistors based on the composite metal-oxides for inkjet printhead = 잉크젯 프린트 헤드를 위한 새로운 금속 산화물 기반의 발열체 특성에 관한 연구link

Kwon, Se-hun; 권세훈; et al, 한국과학기술원, 2008

10
(A) study on the plasma-enhanced atomic layer deposition of Ta-N, Ti-N and Ti-Si-N thin films = Ta-N, Ti-N, Ti-Si-N 확산방지막의 플라즈마를 이용한 원자층 증착법에 관한 연구link

Park, Jin-Seong; 박진성; et al, 한국과학기술원, 2002

11
(A) study on the ruthenium thin films formed by atomic layer deposition (ALD) = ALD 증착법으로 형성된 ruthenium 박막의 특성에 관한 연구link

Kwon, Oh-Kyum; 권오겸; et al, 한국과학기술원, 2004

12
(A) study on the two-step atomic layer deposition for TaN thin films = Two-step ALD 법을 이용한 TaN 박막 형성에 관한 연구link

Kwon, Jung-Dae; 권정대; et al, 한국과학기술원, 2007

13
(A) study on the ultra-thin copper film formation by chemical vapor deposition = CVD법을 이용한 ultra-thin 구리 박막 형성에 관한 연구link

Kwak, Dong-Kee; 곽동기; et al, 한국과학기술원, 2007

14
ALD와 PEALD를 이용한 $Al_2O_3$ 박막 증착에 관한 연구 = A study on the $Al_2O_3$ thin film deposition by ALD and PEALDlink

전우석; Jeon, Woo-Seok; et al, 한국과학기술원, 2003

15
Bottom-up fill of submicron features in catalyst-enhanced chemical vapor deposition of copper = 촉매처리에 의한 Cu CECVD의 Bottom-up fill 현상에 관한 연구link

Shim, Kew-Chan; 심규찬; et al, 한국과학기술원, 2001

16
Kinetic model for cavity filling in CECVD of copper = 촉매 처리에 의한 구리 CECVD의 cavity filling 현상에 관한 모델link

Lee, Hyun-Bae; 이현배; et al, 한국과학기술원, 2005

17
Slurry thickness에 따른 CMP modeling에 관한 연구 = A study on the modeling of chemical-mechanical polishing (CMP) depending on slurry thicknesslink

김우찬; Kim, Woo-Chan; et al, 한국과학기술원, 2003

18
(The) microstructure and electrical property of $HfO_2/Al_2O_3$ films deposited by atomic layer deposition = 원자층 증착법으로 형성된 $HfO_2/Al_2O_3$ 박막의 결정 구조 변화 및 전기적 특성에 관한 연구link

Park, Pan-Kwi; 박판귀; et al, 한국과학기술원, 2007

19
Ti 박막으로 부터 급속 열처리에 의한 $TiSi_2$ 형성에 관한 연구 = A study on the formation of $TiSi_2$ from thin Ti film by rapid thermal processlink

강상원; Kang, Sang-Won; 천성순; 박신종; et al, 한국과학기술원, 1990

20
Titanium isopropoxide와 ammonia를 이용하는 촉매화학기상증착법에 의한 $TiO_2$ 박막 형성에 관한 연구 = A study on the formation of $TiO_2$ thin films using titanium isopropoxide and ammonia by catalytic CVDlink

정승훈; Jung, Seung-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2001

21
분할 화학증착방법으로 증착된 알루미늄 박막의 선택성 및 표면 morphology 개선에 관한 연구 = A study on the improvement of the selectivity and surface morphology of al thin film by cycle chemical vapor depositionlink

안상덕; Ahn, Seong-Deok; 강상원; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000

22
산화-환원 ALD 증착법에 의해 형성된 Nickel 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the nickel thin films formed by oxidation-reduction ALDlink

채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 2002

23
스위치 소자용 열구동형 다결정 실리콘 마이크로브릿지의 열적 구동특성 연구 = A study on the actuations characteristics of thermally-driven polycrystalline silicon microbridge for switching device applicationslink

이재열; Lee, Jae-Youl; et al, 한국과학기술원, 1999

24
질소 도핑된 반응소결 탄화규소 히터의 특성 = The properties of nitrogen-doped SiC heater prepared by reaction sinteringlink

전영삼; Jeon, Young-Sam; et al, 한국과학기술원, 2008

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