타원편광분석기의 입사각 정렬에 관한 연구 = Incidence angle alignment method for ellipsometer

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최근까지 얇은 다층박막에 대한 두께와 광학 성질들을 정확하게 측정하고자 하는 노력이 있어 왔다. 이러한 목적으로 타원편광분석기가 각광을 받고 있는 것은 측정하고자 하는 요소들을 정확하고 정밀하게 얻어 낼 수 있기 때문이다. 그러나 실제적인 사용에 있어서 여러가지 에러요인을 가지고 있는데, 그 중에서도 구성 광학 소자의 부정확한 정렬에 의한 것이다. 그러므로 측정하고자 하는 박막을 기존에 측정한 상태와 똑같은 입사각으로 유지한다면 입사각에 대한 에러요인을 줄일 수 있을 것이다. 이에 프리즘을 이용하여 각도에 대한 민감도를 증가시켜 두께가 다른 박막이 시료 홀더에 장착이 되더라도 같은 입사각을 유지하도록 연구를 하였다.
Advisors
김수현researcherKim, Soo-Hyunresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2002
Identifier
177037/325007 / 020003305
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2002.2, [ v, 55 p. ]

Keywords

입사각; 타원편광분석기; 정렬; 동일 위치; Same Position; Incidence Angle; Ellipsometer; Alignment

URI
http://hdl.handle.net/10203/45363
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=177037&flag=dissertation
Appears in Collection
ME-Theses_Master(석사논문)
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