학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2008. 8., [ xiii, 129 p. ]
Air bearing stage; magnetic prelaod; active compensation of motion errors; ultraprecision straight motion; 공기베어링 스테이지; 자기예압; 운동오차 능동 보정; 초정밀 직선운동; Air bearing stage; magnetic prelaod; active compensation of motion errors; ultraprecision straight motion; 공기베어링 스테이지; 자기예압; 운동오차 능동 보정; 초정밀 직선운동
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