보이스 코일 모터와 할바흐 자석 배열 선형 모터를 이용한 초정밀 이중 서보 스테이지 설계와 제어에 관한 연구 = Design and control of ultra-precision dual servo stage using voice coil motor and halbach magnet array linear motor

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Advisors
권대갑researcherGweon, Dae-Gabresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2006
Identifier
254226/325007  / 020015037
Language
kor
Description

학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2006.2, [ xii, 176 p. ]

Keywords

할바흐 선형 모터; 보이스코일모터; 이중 서보; 스캐닝; 고정밀; 기계적 결합이 없는 시스템; 레벨 구동기; Level actuator; Halbach inear motor; Voice coil motor; Dual servo; Scanning; High precision; Mechanically decoupled system

URI
http://hdl.handle.net/10203/43239
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=254226&flag=dissertation
Appears in Collection
ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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