학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2000.2, [ xix, 124 p. ]
Frequency tuning; Microsensor; Microactuator; Micromachine; MEMS; Quality-factor control; 감쇠계수 조정; 주사수 조정; 마이크로센서; 마이크로액츄에이터; 마이크로머신; 멤즈
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