학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 1998.8, [ iii, 95 p. ]
레이저 간섭계; 주사 전자현미경; 피치; 선폭; 정밀 스테이지; Precision stage; Laser interferometer; Scanning electron microscope; Pitch; Linewidth
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