학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과, 2009. 8., [ v, 46 p. ]
cluster tool; discrete event system; Event Graph; Petri net; stability; 클러스터 장비; 이산사건시스템; 이벤트 그래프; 패트리넷; 안정성; cluster tool; discrete event system; Event Graph; Petri net; stability; 클러스터 장비; 이산사건시스템; 이벤트 그래프; 패트리넷; 안정성
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