다중 슬롯 클러스터 장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링 = Steady state scheduling and modeling of multi-slot cluster tools

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다중슬롯 클러스터 장비란 각 공정모듈의 슬롯의 개수가 2개 이상인 클러스터 장비이다. 따라서 각 공정모듈은 한 번에 여러 개의 웨이퍼를 동시에 가공할 수 있다. 이러한 다중슬롯 클러스터 장비는 기존의 매엽식 클러스터 장비에 비해 생산율을 높일 수 있다는 장점때문에 도입되었으나, 슬롯의 개수가 많아짐에 따라 스케줄링의 복잡도가 높아진다는 문제점이 있다. 다중슬롯 클러스터 장비에서는 로봇팔이 가공이 완료된 웨이퍼가 공정모듈에 투입되기 전에 대기할 수 있는 버퍼의 기능을 하지 못한다. 따라서 매엽식 장비에서 최적 운용 방법으로 알려진 스왑 운용 방식은 다중 슬롯 클러스터 장비에서는 최적을 보장하지 못한다. 본 논문에서는 기존의 hybrid방식을 확장한 새로운 로봇 운용방식을 제안하였으며 가능한 모든 로봇 운용 대안들을 생성하고 각 운용 대안들을 평가하여 최적 대안을 찾아내는 스케줄링 방법을 개발하였다. 그리고, 운용 대안의 평가를 위해 로봇 작업 순서가 주어지면 사이클타임을 구할 수 있는 평가식을 개발하였다. 또한 이러한 스케줄링 방법을 통하여 기존 운용 방법보다 더 좋은 스케줄을 얻을 수 있음을 보였다. 아울러 장비의 사이클 타임과 스케줄을 생성을 위한 이벤트 그래프 모델링 기법을 개발하였다.
Advisors
이태억researcher김영대researcherLee, Tae-EogresearcherKim, Yeong-Daeresearcher
Description
한국과학기술원 : 산업공학과,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2006
Identifier
255394/325007  / 020043560
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업공학과, 2006.2, [ iv, 45 p. ]

Keywords

이벤트 그래프; 주기적 스케줄링; 반도체; Cluster tool; multi-slot; event graph; cyclic scheduling; semi-conductor; 클러스터 장비; 다중슬롯

URI
http://hdl.handle.net/10203/40742
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=255394&flag=dissertation
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IE-Theses_Master(석사논문)
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