DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.advisor | 이태억 | - |
dc.contributor.advisor | 김영대 | - |
dc.contributor.advisor | Lee, Tae-Eog | - |
dc.contributor.advisor | Kim, Yeong-Dae | - |
dc.contributor.author | 김희정 | - |
dc.contributor.author | Kim, Hee-Jung | - |
dc.date.accessioned | 2011-12-14T04:07:51Z | - |
dc.date.available | 2011-12-14T04:07:51Z | - |
dc.date.issued | 2006 | - |
dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=255380&flag=dissertation | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/40728 | - |
dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업공학과, 2006.2, [ iv, 67 p. ] | - |
dc.description.abstract | 최근에 등장한 클러스터 장비 중에는 주기적으로 각 공정 모듈을 세정하는 작업을 수행하는 것들이 있다. 이러한 클리닝 작업은 공정 모듈에 남아있는 잔여 화학 찌꺼기를 제거하기 때문에 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 중요한 작업이다. 양 팔 클러스터 장비에서 기존에 최적으로 알려진 스케줄링 전략은 스왑 방식이다. 그러나 클리닝 작업이 포함된 클러스터 장비에서는 이러한 스왑 방식이 더 이상 효율적이지 못하다. 따라서, 이를 보완할 수 있는 새로운 운용 전략이 요구된다. 본 논문에서는 주기적으로 클리닝이 일어나는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 문제를 다루었다. 먼저 모든 가능한 로봇운용순서를 생성하고, 이들의 사이클 타임을 계산할 수 있는 프레임워크를 제안하였다. 그러나 모든 가능한 로봇운용순서의 수는 클리닝 사이클과 프로세스 스텝 수가 증가함에 따라 급속도로 커지기 때문에, 모두 생성하여 비교 평가하는 것은 가능하지 않다. 이러한 복잡도의 문제를 해결하기 위해서, 세 가지의 휴리스틱 운용 전략을 제시하고 분석하였다. 또한 주어진 로봇운용순서에 대응하는 이벤트 그래프를 체계적으로 생성할 수 있는 프로시저를 제안하여 사이클 타임의 계산과 각 작업의 타이밍 결정을 용이하게 하였다. | kor |
dc.language | kor | - |
dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
dc.subject | 클리닝 | - |
dc.subject | 스케줄링 | - |
dc.subject | Cluster Tool | - |
dc.subject | Event Graph | - |
dc.subject | Cleaning | - |
dc.subject | Scheduling | - |
dc.subject | 클러스터 장비 | - |
dc.subject | 이벤트 그래프 | - |
dc.title | 후 공정을 고려한 양 팔 클러스터 장비의 스케줄링과 제어 | - |
dc.title.alternative | Scheduling and control of dual-armed cluster tools with post processes | - |
dc.type | Thesis(Master) | - |
dc.identifier.CNRN | 255380/325007 | - |
dc.description.department | 한국과학기술원 : 산업공학과, | - |
dc.identifier.uid | 020043178 | - |
dc.contributor.localauthor | 이태억 | - |
dc.contributor.localauthor | 김영대 | - |
dc.contributor.localauthor | Lee, Tae-Eog | - |
dc.contributor.localauthor | Kim, Yeong-Dae | - |
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