단결정 실리콘을 발열체 저항으로 이용한 잉크젯 프린트헤드

Abstract

단결정 실리콘을 발열체 저항으로 이용하는 새로운 잉크젯 프린트 헤드를 제안하고 제작하였다. 새롭게 제안한 잉크젯 프린트헤드는 porous silicon 의 특성을 이용하여 형성한 single crystalline island를 발열체 저항으로 이용하는 구조이다. 전류 방향에 따라 porous화 되는 실리콘의 특성을 살려 웨이퍼에 p+/n+ double diffusion하여 전류 방향이 웨이퍼의 수평 방향이 되게 함으로써 n-type single crystalline island를 형성하였다. 단결정 실리콘 저항체는 그 형성 방법이 단순하고 열 산화막을 보호층으로 사용 가능함으로써 보호층 형성 공정이 간단하다. 또한 고해상도 인쇄를 위해서는 스위칭 회로의 집적화가 필연적으로 이루어져야 하며 발열 저항체 형성을 위한 n+/p+ diffusion을 회로 제작에 이용함으로써 고해상도 잉크젯 프린트 헤드 제작시 제작 공정이 단순해 진다. 단순한 공정을 거침으로 가격 면에서 생산력 있는 잉크젯 프린트헤드를 제안하였다.