대칭접합질량형가속도계및그제조방법AN ACCELERROMETER WITH A SYMMETRICALLY BONDED PROOF-MASS AND METHOD OF ITS FABRICATION METHOD

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본 발명은 질량체의 일부를 접합하여 전체 질량체를 대칭적으로 형성함을 특징으로 하는 가속도계 제조공정에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에어 백, ABS(antilock braking system), 능동현기, 항법시스템 등 자동차용 전장시스템이나 변위, 속도, 진동, 가속도 및 각 가속도의 측정과 응용을 위한 가전, 의료, 산업용 제품구성에 사용할 목적으로 실리콘 등의 단일 동질평판소재의 한쪽 면만 가공하여 보와 하부 질량체를 형성함으로써, 보와 하부질량체의 가공되지 않은 평면상에 감지구조물 및 자체진단(self-diagnosis)용 구조물의 설치를 용이하게 하고, 또한 하부질량체와 동일질량의 상부질량체를 접합하여 상·하부 질량체가 보를 기준으로 질량대칭을 이루도록 하여 질량편심을 없앰으로써 횡방향 감도(cross-axis sensititviy) 향상을 꾀하였으며, 보와 하부 질량체로 구성된 가속도계를 일렬로 배치 제작하고, 이에 다시 일렬로 제작된 상부 질량체를 접합한 후 절삭에 의해 일렬의 가속도계로부터 단위 가속도계를 분리하는 공정을 고안함으로써 제조공정의 수율 및 생산성 향상을 도모하고, 식각단차를 이용하여 보의 두께를 조절하는 새로운 제조방법에 의한 대칭 질량형 가속도계 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Assignee
현대자동차주식회사,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
1998-04-28
Application Number
10-1998-0015216
Registration Date
2001-04-21
Registration Number
10-0294860-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/302383
Appears in Collection
BiS-Patent(특허)
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