웨이퍼 보관 케이스Wafer storage case
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노종합기술원 | ko |
| dc.contributor.author | 배남호 | ko |
| dc.contributor.author | 이석재 | ko |
| dc.contributor.author | 이경균 | ko |
| dc.contributor.author | 이태재 | ko |
| dc.contributor.author | 이문근 | ko |
| dc.contributor.author | 염민희 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-05-12T01:01:32Z | - |
| dc.date.available | 2022-05-12T01:01:32Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/296497 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 웨이퍼 보관 케이스에 관한 것으로, 웨이퍼(W)의 외주 형상에 대응되는 접시 형상의 수납부와, 상기 수납부의 내측단으로는 웨이퍼(W)가 수납될 수 있도록 웨이퍼(W)의 외형에 맞게 형성된 제1 원형턱이 형성된 본체; 상기 제1 원형턱과 대응되는 제2 원형턱과, 상기 제2 원형턱 하부 측면에 웨이퍼(W)를 고정하는 고정부가 형성된 덮개; 및 상기 본체와 덮개가 일체로 연결되도록 형성된 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.title | 웨이퍼 보관 케이스 | - |
| dc.title.alternative | Wafer storage case | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 배남호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이석재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이경균 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이태재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이문근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 염민희 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2020-0047710 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2394720-0000 | - |
| dc.date.application | 2020-04-20 | - |
| dc.date.registration | 2022-05-02 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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