웨이퍼 보관 케이스Wafer storage case

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dc.contributor.author나노종합기술원ko
dc.contributor.author배남호ko
dc.contributor.author이석재ko
dc.contributor.author이경균ko
dc.contributor.author이태재ko
dc.contributor.author이문근ko
dc.contributor.author염민희ko
dc.date.accessioned2022-05-12T01:01:32Z-
dc.date.available2022-05-12T01:01:32Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/296497-
dc.description.abstract본 발명은 웨이퍼 보관 케이스에 관한 것으로, 웨이퍼(W)의 외주 형상에 대응되는 접시 형상의 수납부와, 상기 수납부의 내측단으로는 웨이퍼(W)가 수납될 수 있도록 웨이퍼(W)의 외형에 맞게 형성된 제1 원형턱이 형성된 본체; 상기 제1 원형턱과 대응되는 제2 원형턱과, 상기 제2 원형턱 하부 측면에 웨이퍼(W)를 고정하는 고정부가 형성된 덮개; 및 상기 본체와 덮개가 일체로 연결되도록 형성된 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다.-
dc.title웨이퍼 보관 케이스-
dc.title.alternativeWafer storage case-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.nonIdAuthor배남호-
dc.contributor.nonIdAuthor이석재-
dc.contributor.nonIdAuthor이경균-
dc.contributor.nonIdAuthor이태재-
dc.contributor.nonIdAuthor이문근-
dc.contributor.nonIdAuthor염민희-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2020-0047710-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2394720-0000-
dc.date.application2020-04-20-
dc.date.registration2022-05-02-
dc.publisher.countryKO-
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RIMS Patents
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