웨이퍼 보관 케이스Wafer storage case

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본 발명은 웨이퍼 보관 케이스에 관한 것으로, 웨이퍼(W)의 외주 형상에 대응되는 접시 형상의 수납부와, 상기 수납부의 내측단으로는 웨이퍼(W)가 수납될 수 있도록 웨이퍼(W)의 외형에 맞게 형성된 제1 원형턱이 형성된 본체; 상기 제1 원형턱과 대응되는 제2 원형턱과, 상기 제2 원형턱 하부 측면에 웨이퍼(W)를 고정하는 고정부가 형성된 덮개; 및 상기 본체와 덮개가 일체로 연결되도록 형성된 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2020-04-20
Application Number
10-2020-0047710
Registration Date
2022-05-02
Registration Number
10-2394720-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/296497
Appears in Collection
RIMS Patents
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