학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학부, 2021.2,[viii, 66 p. :]
Si FinFET▼aGe▼aDoping▼aiCVD▼aConformal profile▼aWafer-scale▼aControlled Nanoscale▼aHigh doping level; Si FinFET▼aGe▼a도핑▼a개시제를 이용한 화학 증착법▼a균일한 분포▼a웨이퍼 스케일▼a나노 스케일▼a고농도
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